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发明名称 PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP0099525(A3) 申请公布日期 1984.09.05
申请号 EP19830106694 申请日期 1983.07.08
申请人 MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRANKTER HAFTUNG 发明人 KLUG, RUDOLF, DR.;MERREM, HANS-JOACHIM, DR.;NEISIUS, KARL HEINZ, DR.;HARTNER, HARTMUT, DR.
分类号 G03F7/26;C08F8/00;C08F8/14;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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