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发明名称 SPUTTER COATING APPARATUS FOR PRODUCING ROTATIONALLY SYMMETRIC THICKNESS PROFILES ON A PLURALITY OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 GB2135700(A) 申请公布日期 1984.09.05
申请号 GB19840002446 申请日期 1984.01.31
申请人 * LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 MICHAEL * SELLSCHOPP
分类号 C23C14/04;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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