发明名称 ALUMINUM THIN-FILM
摘要
申请公布号 JPS59152844(A) 申请公布日期 1984.08.31
申请号 JP19830028322 申请日期 1983.02.21
申请人 REIKOU:KK 发明人 NAKAMURA KOUJI
分类号 C23C14/06;B32B15/01;B32B15/08;B32B15/095;C23C14/20 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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