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发明名称
METHOD OF DOPING SILICIUM SUBSTRATES BY DIFFUSION OF BORON AND USE OF THIS METHOD FOR THE MANUFACTURE OF THE BASE ZONES OF BIPOLAR TRANSISTORS
摘要
申请公布号
DE3068722(D1)
申请公布日期
1984.08.30
申请号
DE19803068722
申请日期
1980.11.14
申请人
IBM DEUTSCHLAND GMBH;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BRISKA, MARIAN;METZGER, GERT;THIEL, KLAUS PETER
分类号
C30B31/02;H01L21/223;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
C30B31/02
代理机构
代理人
主权项
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