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发明名称 REACTIVE ION ETCHING
摘要
申请公布号 GB8418364(D0) 申请公布日期 1984.08.22
申请号 GB19840018364 申请日期 1984.07.18
申请人 SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE 发明人
分类号 H01L21/263;H01L21/423;H01L21/465 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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