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发明名称 ELECTRON BEAM SENSITIVE RESIST
摘要
申请公布号 EP0088977(A3) 申请公布日期 1984.08.22
申请号 EP19830102212 申请日期 1983.03.07
申请人 GAF CORPORATION 发明人 LORENZ, DONALD H.;WILLIAMS, EARL P.
分类号 C08F2/54;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 C08F2/54
代理机构 代理人
主权项
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