| 发明名称 |
IRRADIATING HEATING FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59145482(A) |
申请公布日期 |
1984.08.20 |
| 申请号 |
JP19830018870 |
申请日期 |
1983.02.09 |
| 申请人 |
USHIO DENKI KK |
发明人 |
ARAI TETSUHARU;MIMURA YOSHIKI |
| 分类号 |
H01L21/26;C21D1/34;F27B3/08;F27B17/00;F27D11/02;F27D11/12;H01L21/205;H01L21/22;H05B3/00;H05B6/00 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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