| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET NAUWKEURIG OP DE OPNEEMPOSITIE VAN EEN OPNEEMORGAAN PLAATSEN VAN EEN OP TE NEMEN BLOKVORMIG HALFGELEIDERELEMENT. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL175958(B) |
申请公布日期 |
1984.08.16 |
| 申请号 |
NL19760004903 |
申请日期 |
1976.05.07 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED TE KAWASAKI, JAPAN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/68;G03F9/00;H01L21/52;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/58;G05D3/12 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
