| 发明名称 |
Production of uniform high impurity concentration semiconductor material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3031404(A) |
申请公布日期 |
1962.04.24 |
| 申请号 |
US19590857110 |
申请日期 |
1959.12.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MARINACE JOHN C. |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B13/10;H01L21/00;H01L21/24 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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