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发明名称
감광성(感光性)의 수지조성물(樹脂組成物)과 이것을 사용하여 미세한 패터언(Pattern)을 형성하는 방법
摘要
<p>내용 없음</p>
申请公布号
KR840003070(A)
申请公布日期
1984.08.13
申请号
KR19820005781
申请日期
1982.12.23
申请人
null, null
发明人
다가오가 후미오(외 5)
分类号
G03C1/72;G03F7/008
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
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