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发明名称
摘要
申请公布号
JPS59119335(U)
申请公布日期
1984.08.11
申请号
JP19830010757U
申请日期
1983.01.27
申请人
发明人
分类号
C30B25/14;B01J4/00;H01L21/205;(IPC1-7):B01J4/00
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
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