| 发明名称 |
MAGNETRON ELECTRODE FOR USE IN LOW PRESSURE CHAMBER OF PLASMA TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59140375(A) |
申请公布日期 |
1984.08.11 |
| 申请号 |
JP19830196968 |
申请日期 |
1983.10.22 |
| 申请人 |
MATERIARUZU RESEARCH CORP |
发明人 |
UORUTAA EICHI KURASU;SUTEIIBUN DEII HAAUITSUTO;RIN AI |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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