发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE
摘要
申请公布号 GB2089567(B) 申请公布日期 1984.08.08
申请号 GB19810037601 申请日期 1981.12.14
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/761;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/76 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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