发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 GB2081161(B) 申请公布日期 1984.08.08
申请号 GB19810021035 申请日期 1981.07.08
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01L21/302;G03F7/42;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/30;G03C11/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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