ANORDNUNG ZUR ERZIELUNG DEFINIERTER SCHICHTDICKENPROFILE,申请号DD19820245731-传众专利搜索

发明名称	ANORDNUNG ZUR ERZIELUNG DEFINIERTER SCHICHTDICKENPROFILE
摘要
申请公布号	DD212271(A1)	申请公布日期	1984.08.08
申请号	DD19820245731	申请日期	1982.12.09
申请人	VEB ROBOTRON ZENTRUM FUER FORSCHUNG UND TECHNIK,DD	发明人	SCHUBERT,GERHARD,DD;KLEINEBERG,JOHANN,DD;FELDHOFER,FRIEDHELM,DD;HARTMANN,ULRICH,DD
分类号	(IPC1-7):C23C15/00	主分类号	(IPC1-7):C23C15/00
代理机构		代理人
主权项
地址