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发明名称 LABORATIVES CHIPMONTAGEGERAET
摘要
申请公布号 DD212142(A1) 申请公布日期 1984.08.01
申请号 DD19820245389 申请日期 1982.12.01
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 SEYFARTH,ROLF,DD;WAGNER,GISELA,DD;NIELSEN,INGOLF,DD;FRANK,REINER,DD
分类号 B65B35/00;H01L21/58;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 B65B35/00
代理机构 代理人
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