发明名称 PLANETARY SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS FOR VAPOUR VACUUM DEPOSITING COATING
摘要
申请公布号 GB2133764(A) 申请公布日期 1984.08.01
申请号 GB19840001381 申请日期 1984.01.19
申请人 * MULTI-ARC VACUUM SYSTEMS INC 发明人 HENRY E * BRANDOLF
分类号 B05B13/02;B65G29/00;C23C14/24;C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458;(IPC1-7):B65G47/22;B65G49/00 主分类号 B05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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