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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5931222(B2) 申请公布日期 1984.07.31
申请号 JP19740099824 申请日期 1974.08.30
申请人 SIEMENS AG 发明人 KARURURURITSUHI SHUTAIN
分类号 H01L29/78;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/314;H01L21/86;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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