发明名称 LIQUID PHASE EPITAXY APPARATUS
摘要
申请公布号 IL71630(D0) 申请公布日期 1984.07.31
申请号 IL19840071630 申请日期 1984.04.25
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 H01L21/208;C30B19/06;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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