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发明名称 METHOD FOR GENERATING ZHE FREQENCY OF HORIZONTAL AND VERTICAL DEFLECTION VOLTAGES OF ION-IMPLANTING APPARATUSES
摘要
申请公布号 HU184167(B) 申请公布日期 1984.07.30
申请号 HU1979MA03128 申请日期 1979.04.07
申请人 MTA KOEZPONTI FIZIKAI KUTATO INTEZETE,HU 发明人 PASZTOR,ENDRE,HU;KIRALYHIDI,LASZLO,HU;RIEDL,PETER,HU
分类号 H01J37/302;H01L21/425;(IPC1-7):H01J37/302 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
主权项
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