| 发明名称 |
WORKPIECE HOLDER USING IMPROVED COOLING AND FLUID COOLING ROTARY STAGE FOR MONITORING WORKPIECE DURING SURFACE TREATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59130427(A) |
申请公布日期 |
1984.07.27 |
| 申请号 |
JP19830114139 |
申请日期 |
1983.06.24 |
| 申请人 |
KOMONUERUSU SAIENTEIFUITSUKU CORP |
发明人 |
UIRIAMU II HIYUUZU |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/24;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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