| 发明名称 |
APPARATUS FOR FORMING NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59128206(A) |
申请公布日期 |
1984.07.24 |
| 申请号 |
JP19830000210 |
申请日期 |
1983.01.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
MENJIYU ATSUHIKO;SHIBAGAKI MASAHIRO;TAKEUCHI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/34;C01B21/068;H01L21/318 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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