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发明名称
HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE3401407(A1)
申请公布日期
1984.07.19
申请号
DE19843401407
申请日期
1984.01.17
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K.
发明人
SHIRAISHI,TAKASHI
分类号
H01L29/74;H01L29/747;(IPC1-7):H01L29/74
主分类号
H01L29/74
代理机构
代理人
主权项
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