| 发明名称 |
SILICON ACCUMULATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59123227(A) |
申请公布日期 |
1984.07.17 |
| 申请号 |
JP19830240791 |
申请日期 |
1983.12.20 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
ISURAERU EE RESUKU;KARUURI AARU SAAMA |
| 分类号 |
H01L21/205;C01B33/03;C01B33/035;C23C16/24;C23C16/52 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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