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发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS59123528(A) 申请公布日期 1984.07.17
申请号 JP19820230998 申请日期 1982.12.29
申请人 KONISHIROKU SHASHIN KOGYO KK 发明人 OOTA TATSUO
分类号 H01J37/32;B01J19/00;C23C14/32;C23C16/50 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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