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发明名称 INORGANIC PHOTORESIST
摘要
申请公布号 BG35877(A1) 申请公布日期 1984.07.16
申请号 BG19830060461 申请日期 1983.04.06
申请人 FARKHI-VATEVA,ELENA M.;IVANOVA,ZOJA G.;ARSOVA,DARINA D. 发明人 FARKHI-VATEVA,ELENA M.;IVANOVA,ZOJA G.;ARSOVA,DARINA D.
分类号 G03C1/72;(IPC1-7):G03C1/72 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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