| 发明名称 |
OPTICAL PROXIMITY VIEW SCANNING MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59121310(A) |
申请公布日期 |
1984.07.13 |
| 申请号 |
JP19830188592 |
申请日期 |
1983.10.11 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
DEIITERU BORUFUGANKU POORU |
| 分类号 |
G02B21/00;G01N37/00;G01Q20/00;G01Q60/22;G02B6/04;G02B6/26;G02B21/06;G02B21/36 |
主分类号 |
G02B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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