发明名称 TARGETS FUER DIE KATHODENZERSTAEUBUNG
摘要
申请公布号 DE3300525(A1) 申请公布日期 1984.07.12
申请号 DE19833300525 申请日期 1983.01.10
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 DIETRICH,DIPL.MIN.DR. KLEIN,HANS
分类号 C04B35/00;C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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