VERFAHREN UND VORRICHTUNG FUER TRANSPORT UND BEARBEITUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN,申请号DD19820244619-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG FUER TRANSPORT UND BEARBEITUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号	DD211429(A1)	申请公布日期	1984.07.11
申请号	DD19820244619	申请日期	1982.11.05
申请人	ADW,INSTITUT F. PHYSIK DER WERKSTOFFBEARBEITUNG,DD	发明人	BERTOLDI,WERNER,DD;FLEISCHHACK,MANFRED,DD;HANSCH,CLEMENS,DD;HERKLOTZ,HANS,DD;KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD;KRAUSS,NORBERT,DD;LANGE,WOLFRAM,DD;LINGEL,STEFAN,DD;MAI,MICHAEL,DD;NITZSCHE,WALTER,DD;SCHLOTE,JUERGEN,DD;TAENZER,DIETMAR,DD
分类号	B65H9/08;H01L21/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/02	主分类号	B65H9/08
代理机构		代理人
主权项
地址