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发明名称
VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON LACKHAFTVERMITTLERRESTSCHICHTEN VON HALBLEITERSUBSTRATEN
摘要
申请公布号
DD211430(A1)
申请公布日期
1984.07.11
申请号
DD19820242490
申请日期
1982.08.13
申请人
VEB FUNKWERK ERFURT,DD
发明人
BRANDSTAEDT,EKKEHART,DD
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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