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发明名称 X-Y ADDRESSABLE WORKPIECE POSITIONER
摘要
申请公布号 GB2070234(B) 申请公布日期 1984.07.11
申请号 GB19800005833 申请日期 1980.02.21
申请人 OPTIMETRIX CORP 发明人
分类号 G01B11/03;G03F9/00;(IPC1-7):G01B11/03;G05D3/12 主分类号 G01B11/03
代理机构 代理人
主权项
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