| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59115538(A) |
申请公布日期 |
1984.07.04 |
| 申请号 |
JP19830137952 |
申请日期 |
1983.07.29 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
KAREN AN FUABURISHIYASU;BAANAADO MAIKERU KEMUREEJI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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