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发明名称 NOVEL MANUFACTURE OF SILICON HYDRIDE
摘要
申请公布号 JPS59116117(A) 申请公布日期 1984.07.04
申请号 JP19820223008 申请日期 1982.12.21
申请人 MITSUI TOATSU KAGAKU KK 发明人 IWAO TETSUYA;TOYODA YOSHIAKI;WAKIMURA KAZUO;KITANO NOBUHIRO;TANAKA MASAO
分类号 C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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