发明名称 SILICON PRESSURE SENSOR.
摘要
申请公布号 EP0050136(A4) 申请公布日期 1984.07.03
申请号 EP19810901066 申请日期 1981.03.16
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 GRAGG, JOHN E., JR.
分类号 G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84;G01L1/22;H01L29/04;H01L29/06 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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