PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE UN DISPOSITIVO EN MICROMINIATURA.

摘要

PROCEDIMIENTO DE DETECCION DEL PUNTO FINAL DE UN PROCESO DE MORDENTADO EN FABRICACION POR TECNICAS FOTOLITOGRAFICAS DE DISPOSITIVOS ELECTRONICOS MICROMINIATURIZADOS.COMPREND E LAS SIGUIENTES ETAPAS: SEPARAR PROGRESIVAMENTE UNA PORCION DE PELICULA FINA DE UN PRIMER MATERIAL DISPUESTO SOBRE UN CUERPO SOPORTE; DETERMINAR LA SEPARACION DE DICHO MATERIAL DIRIGIENDO UN RAYO DE ENERGIA ONDULATORIA SOBRE EL MISMO; Y MEDIR UN CAMBIO EN EL RAYO REFLEJADO. EL RAYO CUBRE UN AREA SUFICIENTEMENTE GRANDE PARA INCIDIR SIMULTANEAMENTE SOBRE UNA PELICULA FINA DE UN SEGUNDO MATERIAL QUE NO ES SEPARADO, O QUE ESSEPARADO PROGRESIVAMENTE A UNA VELOCIDAD MUCHO MAS LENTA QUE LA VELOCIDAD DE SEPARACION DEL PRIMER MATERIAL.