发明名称 NEGATIVE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS59113175(A) 申请公布日期 1984.06.29
申请号 JP19820223221 申请日期 1982.12.20
申请人 NITSUSHIN HAIBORUTEEJI KK;TAKAGI TOSHINORI;ISHIKAWA JIYUNZOU 发明人 MATSUDA KOUJI;TAKAGI TOSHINORI;ISHIKAWA JIYUNZOU
分类号 C23C14/48;H01J27/02;H01J27/20;H01J37/08 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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