发明名称 |
FREMGANGSMAADE TIL VAKUUMAFLEJRING ISAER KATODEFORSTOEVNING UNDER ANVENDELSE AF ET SYSTEM TIL KONTINUERLIG AFGIVELSE AF ET PNICTID |
摘要 |
|
申请公布号 |
DK318484(D0) |
申请公布日期 |
1984.06.28 |
申请号 |
DK19840003184 |
申请日期 |
1984.06.28 |
申请人 |
STAUFFER CHEMICAL COMPANY |
发明人 |
SCHACHTER ROZALIE;VISCOGLIOSI MARCELLO |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/314;(IPC1-7):C30B/;B05D/;H01L/ |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|