发明名称 FREMGANGSMAADE TIL VAKUUMAFLEJRING ISAER KATODEFORSTOEVNING UNDER ANVENDELSE AF ET SYSTEM TIL KONTINUERLIG AFGIVELSE AF ET PNICTID
摘要
申请公布号 DK318484(D0) 申请公布日期 1984.06.28
申请号 DK19840003184 申请日期 1984.06.28
申请人 STAUFFER CHEMICAL COMPANY 发明人 SCHACHTER ROZALIE;VISCOGLIOSI MARCELLO
分类号 C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/314;(IPC1-7):C30B/;B05D/;H01L/ 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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