发明名称 RESISTANT MATERIAL
摘要
申请公布号 AU537479(B2) 申请公布日期 1984.06.28
申请号 AU19800059417 申请日期 1980.06.19
申请人 HOECHST A.G. 发明人 PAUL STAHLHOFEN
分类号 G03C1/72;G03C5/56;G03F7/022;G03F7/115;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/76;G03C1/84;G03F7/02;G03F7/08 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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