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发明名称 PLASMA-ASSISTED ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 GB2085809(B) 申请公布日期 1984.06.20
申请号 GB19810031070 申请日期 1981.10.15
申请人 WESTERN ELECTRIC CO 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):C09K13/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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