发明名称 KAPAZITAETSARME MESSFLAECHENANORDNUNG FUER HALBLEITERBAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DD210787(A1) 申请公布日期 1984.06.20
申请号 DD19820243750 申请日期 1982.10.04
申请人 VEB FUNKWERK ERFURT,DD 发明人 BECK,WOLFGANG,DD;VOLLAND,LUTZ,DD
分类号 H01L21/66;H01L23/48;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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