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发明名称
EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号
JPS59105319(A)
申请公布日期
1984.06.18
申请号
JP19820213910
申请日期
1982.12.08
申请人
HITACHI SEISAKUSHO KK
发明人
SATOU FUMIYOSHI;NAKAZAWA TOMIO
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):01L21/30;03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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