发明名称 MANUFACTURE OF METAL OXIDE SEMICONDUCTOR TYPE TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS59105366(A) 申请公布日期 1984.06.18
申请号 JP19820213990 申请日期 1982.12.08
申请人 OKI DENKI KOGYO KK 发明人 TAMURA HIROYUKI;INO MASAYOSHI
分类号 H01L21/225;H01L29/78 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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