发明名称 PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS DE CIRCUITOS INTEGRADOS COMPLEMENTARIOS.
摘要 3(57)PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES EN CIRCUITOS INTEGRADOS.COMPRENDE LAS ETAPAS SIGUIENTES: REALIZAR, EN UN CUERPO DE SILICIO, UNA PRIMERA REGION DE CONDUCTIVIDAD DE TIPO P Y UNA SEGUNDA REGION DE CONDUCTIVIDAD DE TIPO N; FORMAR, DENTRO DE LA PRIMERA REGION, UNA TERCERA REGION DE CONDUCTIVIDAD DE TIPO P CON MAYOR CONCENTRACION; Y FORMAR, DENTRO DE LA SEGUNDA REGION, UNA CUARTA REGION DE CONDUCTIVIDAD DE TIPO N. AMBAS REGIONES TERCERA Y CUARTA TIENEN UNA CONCENTRACION RESPECTIVA MAYOR QUE LAS PRIMERA Y SEGUNDA. LAS PORCIONESSUPERFICIALES DEL CUERPO DE SILICIO EN DONDE HAN DE FORMARSE LAS REGIONES TERCERA Y CUARTA, SON TRATADAS SELECTIVAMENTE CON IONES BORO, Y LAS PORCIONES DEL MISMO CORRESPONDIENTES A LA REGION CUARTA, CON IONES FOSFORO O ARSENICO. EL CUERPO DE SILICIO SE ENMASCARA SELECTIVAMENTE Y SE CALIENTA PARA OXIDAR SELECTIVAMENTE LAS REGIONES TERCERA Y CUARTA.
申请公布号 ES8403665(A1) 申请公布日期 1984.06.16
申请号 ES19130005211 申请日期 1983.03.29
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INC. 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/06;(IPC1-7):01L21/20;01L27/04 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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