发明名称 PROCEDE DE POSITIONNEMENT D'UN TROU DE CONTACT ELECTRIQUE ENTRE DEUX LIGNES D'INTERCONNEXION D'UN CIRCUIT INTEGRE
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE POSITIONNEMENT D'UN TROU DE CONTACT ELECTRIQUE 22 ENTRE UNE PREMIERE LIGNE ET UNE SECONDE LIGNE D'INTERCONNEXION 12, 24A D'UN CIRCUIT INTEGRE. SELON L'INVENTION, LA PREMIERE LIGNE 12 ETANT REALISEE, ON DEPOSE SUR L'ENSEMBLE DU CIRCUIT INTEGRE UNE COUCHE D'ISOLANT 14, PUIS UNE COUCHE DE RESINE 16 SERVANT A EFFACER LE RELIEF DE LA COUCHE D'ISOLANT; ON GRAVE LA COUCHE DE RESINE AFIN DE METTRE A NU LA REGION EN RELIEF 14A DE LA COUCHE D'ISOLANT SITUEE AU-DESSUS DE LA PREMIERE LIGNE; ON DEFINIT LES DIMENSIONS DU TROU DE CONTACT 22 PAR MASQUAGE A L'AIDE D'UNE RESINE 18; ON GRAVE LA COUCHE D'ISOLANT 14 AFIN DE REALISER LE TROU DE CONTACT; ON ELIMINE LE MASQUE 18 ET LA COUCHE DE RESINE RESTANTE 16, ET ON REALISE LA DEUXIEME LIGNE D'INTERCONNEXION 24A.</P>
申请公布号 FR2537779(A1) 申请公布日期 1984.06.15
申请号 FR19820020721 申请日期 1982.12.10
申请人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE 发明人 PIERRE JEUCH
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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