| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF D'IMPLANTATION DE PARTICULES DANS UN SOLIDE |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE ET UN DISPOSITIF D'IMPLANTATION DE PARTICULES DANS UN SOLIDE.</P><P>LE PROCEDE D'IMPLANTATION DE PARTICULES DANS UN SOLIDE DANS LEQUEL ON CREE UN FAISCEAU PARALLELE 11 DE PARTICULES ENERGETIQUES A, ON PLACE SUR LE CHEMIN DE CE FAISCEAU PARALLELE 11 DE PARTICULES ENERGETIQUES A DES PARTICULES B QUI, PAR INTERACTION AVEC LES PARTICULES ENERGETIQUES A, SONT PROJETEES VERS UNE CIBLE 6 AVEC UNE ENERGIE SUFFISANTE POUR Y PENETRER, EST CARACTERISE EN CE QUE LES PARTICULES B SONT A L'ETAT GAZEUX, CE GAZ 24 OCCUPANT UNE ZONE SITUEE EN REGARD DE LA CIBLE 6.</P><P>CETTE INVENTION TROUVE NOTAMMENT SON APPLICATION DANS LE DOPAGE DES SEMICONDUCTEURS.</P>
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| 申请公布号 |
FR2537777(A1) |
申请公布日期 |
1984.06.15 |
| 申请号 |
FR19820020720 |
申请日期 |
1982.12.10 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MICHEL BRUEL, ALAIN SOUBIE ET PHILIPPE SPINELLI;SOUBIE ALAIN;SPINELLI PHILIPPE |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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