发明名称 NEGATIVE PHOTORESIST
摘要
申请公布号 SU772396(A1) 申请公布日期 1984.06.15
申请号 SU19762407066 申请日期 1976.09.21
申请人 MOLODNYAKOV S.P.,SU;FEDOROV YU.I.,SU;KUZNETSOV V.A.,SU;EGOROCHKIN A.N.,SU;BIRYUKOVA T.G.,SU;RAZUVAEV G.A.,SU 发明人 MOLODNYAKOV S.P.,SU;FEDOROV YU.I.,SU;KUZNETSOV V.A.,SU;EGOROCHKIN A.N.,SU;BIRYUKOVA T.G.,SU;RAZUVAEV G.A.,SU
分类号 (IPC1-7):G03C1/68 主分类号 (IPC1-7):G03C1/68
代理机构 代理人
主权项
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