| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59104134(A) |
申请公布日期 |
1984.06.15 |
| 申请号 |
JP19820214344 |
申请日期 |
1982.12.07 |
| 申请人 |
TOSHIBA KK |
发明人 |
AZETSUBO KENJI;KITANE SHIYOUICHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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