| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE MESURE D'UNE EPAISSEUR TOPOLOGIQUE EQUIVALENTE D'UN VOLUME D'UNE COUCHE DEPOSEE SUR UN SUBSTRAT ET SON DISPOSITIF DE MISE EN OEUVRE.</P><P>LE PROCEDE CONSISTE A INJECTER UN GAZ SOUS PRESSION CONSTANTE ET FAIBLE PAR L'INTERMEDIAIRE D'UN GICLEUR DONT LA SECTION EST HOMOTETIQUE ET INSCRITE DANS LA FORME DE LA COUCHE DEPOSEE DE FACON A INTEGRER L'ENSEMBLE DES VARIATIONS D'EPAISSEUR DE LADITE COUCHE. LE GICLEUR, PLACE AU-DESSUS DU DEPOT A UNE DISTANCE DONNEE Z REF. EST ENSUITE PLACE AU-DESSUS DU SUBSTRAT NU SANS MODIFIER LA HAUTEUR INITIALE DU GICLEUR PAR RAPPORT AU SUBSTRAT DE SORTE QUE LE SUBSTRAT SE TROUVE A UNE DISTANCE EGALE A LA SOMME DE LA HAUTEUR DE REFERENCE Z REF. ET DE L'EPAISSEUR TOPOLOGIQUE E DU DEPOT, PUIS A DEPLACER VERTICALEMENT LE SUBSTRAT OU LE GICLEUR DE FACON A CE QU'EN FIN DE DEPLACEMENT, LE SUBSTRAT NU SE TROUVE A LA DISTANCE DE REFERENCE Z REF., ET A DETECTER CETTE DISTANCE DE DEPLACEMENT QUI EST EGALE A L'EPAISSEUR TOPOLOGIQUE E DE LA COUCHE.</P><P>LES DISTANCES DE REFERENCE Z REF. SONT DETECTEES AU MOYEN D'UN CAPTEUR DE PRESSION BASE SUR LE DEPLACEMENT D'UNE COLONNE DE LIQUIDE OU SUR LES MODIFICATIONS DE PARAMETRES PHYSIQUES D'UN DETECTEUR SOLIDE.</P>
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