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发明名称 EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2131187(A) 申请公布日期 1984.06.13
申请号 GB19830031399 申请日期 1983.11.24
申请人 * CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 SYUICHI * YABU;HIROSHI * SATO
分类号 G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B27/32 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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