发明名称 AUTOMATICALLY SPUTTERING DEVICE FOR FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS59100522(A) 申请公布日期 1984.06.09
申请号 JP19820210239 申请日期 1982.11.30
申请人 KOKUSAI DENKI KK 发明人 OGI HITOSHI;MURAMATSU FUMIO;TSUNODA RIYOUJI
分类号 C23C14/56;H01L21/285 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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